专利名称：用于激光的功率平衡装置、激光加工装置专利类型：发明专利
发明人：船冈幸治,中筋淑江,泷川靖弘申请号：CN201780006760.5申请日：20170110公开号：CN108475895A公开日：20180831
摘要：得到能够容易地进行向被加工物的稳定的激光加工的激光加工装置、及在该激光加工装置中使用的用于激光的功率平衡装置。用于激光的功率平衡装置具有：偏振相位差板，其在相对的一对主面的一个主面侧，形成有由与基板材料相同的材料构成的多个凸部以设定周期P分别平行地直线状延伸的衍射光栅，形成为能够利用所述衍射光栅的构造性双折射，被射入远红外光的激光，且所述衍射光栅的所述周期P满足P＜λ/n(λ是入射光的波长，n是所述基板材料的折射率)；以及旋转机构，其使所述偏振相位差板旋转。
申请人：三菱电机株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：北京天昊联合知识产权代理有限公司
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