专利名称：锌锡合金溅射靶专利类型：发明专利
发明人：D·J·欧绍戈尼西,J·J·芬雷,P·A·麦德维克申请号：CN99805969.2申请日：19990506公开号：CN1300327A公开日：20010620
摘要：把锡加入到锌阴极靶中,以提高靶的溅射效率。与没有氧化锡的氧化锌涂层叠层相比,使用例如含有大于0但小于10重量%锡和大于90但小于100重量%的锌的阴极沉积的薄膜改善了高透光率、低辐射系数涂层叠层的化学耐用性。加热高透光率、低辐射系数的涂层叠层,通过选择在红外反射膜(如银膜)和介电膜(如52—48锡酸锌薄膜;氧化锌、氧化锡薄膜或者氧化锌薄膜)之间的金属基层的厚度,加热的涂层降低了浊度。同时提出了降低其上沉积的银膜电阻率并改善所述涂层叠层化学耐用性的增强膜。
申请人：PPG工业俄亥俄公司
地址：美国俄亥俄
国籍：US
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：龙传红
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