专利名称：一种质量灵敏度均一的石英晶体微天平质量传感器专利类型：发明专利发明人：黄显核
申请号：CN201810308560.1申请日：20180410公开号：CN110361287A公开日：20191022
摘要：为提高QCM质量灵敏度的均匀性，本发明提供一种不对称电极结构的QCM传感器，属电子技术领域。它包括圆形石英晶片(1)，其上下两面分别具有金属电极(2)和(3)，且上下电极几何中心法线与圆形晶片几何中心法线三者重合；其特征在于，所述下金属电极(3)为一半径为m的圆电极；所述上金属电极(2)为一环状电极，此环状电极的内半径为n、外半径为m，并且n大约等于(0.3～0.7)*m；同时金电极的厚度大约为(0.3～0.7)*10米左右；且此m值与工作频率有关，对10MHz的基频QCM，m值大约为1.5～3.0毫米之间，而对5MHz的基频QCM，m值大约为3.0～6.0毫米之间。满足这三个条件下可近似得到均一分布的质量灵敏度分布，提高QCM质量灵敏度分布的均匀性，进而提高其测量结果的重复性。
申请人：黄显核
地址：610031 四川省成都市金牛区金房苑西路九号汇景新村2栋2单元602室
国籍：CN
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