专利名称：一种平场全息凹面光栅的角度微调装置专利类型：实用新型专利发明人：刘旭亮
申请号：CN201621363171.1申请日：20161213公开号：CN206235393U公开日：20170609
摘要：一种平场全息凹面光栅的角度微调装置，它由一个光栅底座、一个光栅底座托盘、一个装置底座、一个连接键、一个蜗杆、一个齿轮和三个固定螺栓组成；其特征在于所述的齿轮中心位置是凸起的传动轴；连接键镶嵌于齿轮传动轴的键槽中；齿轮传动轴穿过光栅底座托盘中间孔洞与光栅底座相连;蜗杆与齿轮相连放置在装置底座上；光栅底座托盘与装置底座相连后用固定螺栓固定。
申请人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
地址：201203 上海市浦东新区郭守敬路498号8幢19501-19503室
国籍：CN
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