专利名称：一种用于晶圆修膜的转动平台专利类型：实用新型专利
发明人：于政,何肇阳,汪洋,周科群,赵亚东申请号：CN201820629628.1申请日：20180428公开号：CN208305529U公开日：20190101
摘要：本实用新型涉及一种用于晶圆修膜的转动平台，包括底板、抽气泵和转动台，所述的底板上端面一端内安装有抽气泵，另一端中部上竖直安装有管口，所述的管口上端转动安装有转动台，转动台中部安装有与管口的出气口转动连接的接入管，所述的转动台上端面对称竖直安装有两根竖直支架，所述的竖直支架上端安装有定位模座，所述的定位模座上安装有可拆卸固定模，所述的可拆卸固定模与定位模座之间留有密封腔体。本实用新型具有结构简单、操作方便、适用不同的规格的晶圆、提高晶圆的质量、保证了生产效率等特点。
申请人：宁波芯健半导体有限公司
地址：315336 浙江省宁波市杭州湾新区庵东工业园区华兴地块中横路18号
国籍：CN
代理机构：上海泰能知识产权代理事务所
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