专利名称：等离子体处理装置用微波导入天线专利类型：外观专利
申请号：CN200730147469.9申请日：20070615公开号：CN300781670D公开日：20080521
专利附图：
申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：龙淳
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