（12）实用新型专利
（21）申请号 CN91214028.3 （22）申请日 1990.12.29 （71）申请人 重庆大学
地址 630044 四川省重庆市沙坪坝
（10）申请公布号 CN2089208U （43）申请公布日 1991.11.20
（72）发明人 舒启清;王云良;郑小林 （74）专利代理机构 重庆大学专利事务所
代理人 张荣清
（51）Int.CI
H01J37/02;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种新型的扫描隧道显微镜体
（57）摘要
一种新型的扫描隧道显微镜体，其微
调采用差动
压缩弹簧，多级齿轮减速和二级调速步进电机驱动电
路，提高了调节精度。隔振除采用弹簧悬挂式平台
外，还采用了排斥性磁阻尼，增强了抗外界振动干扰
的能力。试样支承采用了移动式结构，增大了被测试
样的移动范围。它能在空气和液体环境中工作，因此
可在机械、电子和生物工程等领域中作为微位移机构 使用。 法律状态
法律状态公告日1991-11-20 1992-07-01 1996-02-14
法律状态信息
公开 授权
专利权的终止未缴年费专利权终止
法律状态
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专利权的终止未缴年费专利权终止
权利要求说明书
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说明书
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