专利名称:一种MEMS微泵测试方法及系统专利类型:发明专利
发明人:卞达,赵晓燕,郭永信,赵永武,王永光申请号:CN202011018515.6申请日:20200924公开号:CN112160901A公开日:20210101
摘要:本发明公开了一种MEMS微泵测试方法及系统,包括,基于最小二乘支持向量机构建控制模型;结合压力值指标判断贮液组件内压力与预设的第一阈值和第二阈值的大小,获得判断结果;利用所述控制模型读取所述判断结果,分别控制所述贮液组件与补液组件、量测器进行连通和关断;根据所述量测器中的液体变化得到所述待测微泵的测试数据。本发明使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试,能够测试较小的输出液体体积和流量,同时,通过控制贮液组件的压力,可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量,且系统中使用了单向阀的设计,保证了测试过程中不存在液体倒流的情况,保证了测试精度。
申请人:江南大学
地址:214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
国籍:CN
代理机构:南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人:朱宝庆
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