专利名称：一种用于晶元生产中的废气处理装置专利类型：实用新型专利
发明人：陈波,唐淋,余朝晃,郑敏,樊建银申请号：CN201720005916.5申请日：20170104公开号：CN206473973U公开日：20170908
摘要：本实用新型公布了一种用于晶元生产中的废气处理装置，包括加热腔、冷却腔、废水腔、集气腔，加热腔为中空腔体，内部侧壁上设置有电热管，顶部设置有与内部腔体连通的废气集合管，侧边上部设置有空气管；空气管延伸至加热腔内部与腔体内部的喷气管相连；喷气管上端延伸至加热腔内壁顶部，且喷气管表面设置有气孔；加热腔下端设置有与冷却腔上端相连的耐高温气管；冷却腔的内壁顶部设置有喷淋头，下方设置有废水腔，侧面设置有与集气腔相连的冷气管；废水腔通过水管与喷淋头相连。本实用新型用于初步处理废气，通过加热使气体高温分解、燃烧、然后进行喷淋冷却，同时溶解易溶性废气。
申请人：湖南新中合光电科技股份有限公司
地址：416500 湖南省湘西土家族苗族自治州保靖县高新科技产业园区(迁陵镇梅花花井村高速路口旁)
国籍：CN
代理机构：北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
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