专利名称：New group V metal containing precursors
and their use for metal containing filmdeposition
发明人：BLASCO, Nicolas,DANIELLE, Stephane,MERLE,
Nicolas,DUSSARRAT, Christian
申请号：EP06301090.4申请日：20061026公开号：EP1916253A1公开日：20080430
摘要：Array
申请人：L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des ProcédésGeorges Claude,Centre National de la Recherche Scientifique
地址：75, quai d'Orsay 75007 Paris FR,3, rue Michel-Ange 75794 Paris Cedex 16 FR
国籍：FR,FR
代理机构：Conan, Philippe Claude
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