专利名称：一种薄膜体声波谐振器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：左朋,汪洋,刘铮,丁国建,张宇超,冯琦,王海玲,杨浩军,
徐文俊,王晓晖,贾海强,陈弘
申请号：CN202010735229.5申请日：20200727公开号：CN111817682A公开日：20201023
摘要：一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及薄膜体声波谐振器技术领域。薄膜体声波谐振器包括自上而下依次设置的顶电极、压电层、底电极、支撑层、空腔结构和衬底，空腔结构内设有至少两个支撑膜层以及至少两个空气层。其中，支撑膜层的声阻抗大于空气层的声阻抗，每个空气层与每个支撑膜层自上而下交替叠合，任意相邻的空气层与支撑膜层共同组成布拉格声波反射层。其不仅有效增加空腔结构的机械稳固性，同时有效提升薄膜体声波谐振器的Q值。
申请人：松山湖材料实验室
地址：523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
国籍：CN
代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：付兴奇
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