专利名称：一种静电加速器高压端级联式真空获得装置及方法专利类型：发明专利
发明人：张子民,申晓康,曹树春,李中平,刘铭,肖荣庆申请号：CN202010876720.X申请日：20200827公开号：CN112004305A公开日：20201127
摘要：本发明涉及一种加速器高压端级联式真空获得装置及方法。加速器高压端级联式真空获得装置包括依次相连接的次级分子泵机组、级联真空管道和初级分子泵机组，其中，所述次级分子泵机组的入口连接加速器高压端的真空室，所述次级分子泵机组的出口连接所述级联真空管道的入口；所述初级分子泵机组的入口连接所述级联真空管道的出口，所述初级分子泵机组的出口连接大气环境；所述级联真空管道为多级分压绝缘真空管道。本发明在保证耐高压的同时，也解决了高压端高真空度获得的问题，满足了高压端对高真空度的要求，推动了强流静电加速器技术的发展。
申请人：中国科学院近代物理研究所
地址：730013 甘肃省兰州市城关区南昌路509号
国籍：CN
代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：刘小娟
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