专利名称：一种多层金属光栅的制备方法专利类型：发明专利发明人：叶志成
申请号：CN201310081929.7申请日：20130314公开号：CN103149615A公开日：20130612
摘要：本发明涉及一种多层金属光栅的制备方法，包括步骤：制备或选取压印模板；在衬底上表面旋涂压一层压印胶；在压印胶的表面镀一金属层；在金属层上表面涂一层保护膜；将压印模板放置在保护膜上表面进行纳米压印；对压印胶进行固化处理后，移去压印模版，得到双层或多层金属光栅。本发明不仅省略了图形转移的步骤，工艺更简单，成本更低廉，而且由上述方法得到的金属膜不会包覆于图形侧壁而影响透射效率，其截面与压印模具截面形貌严格吻合，与采用传统方法相比，图形的保真度和光栅的TM透射率及偏振抑制比都更高。
申请人：上海交通大学
地址：200240 上海市闵行区东川路800号
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：张泽纯
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