专利名称：调焦机构专利类型：实用新型专利
发明人：胡松,姚汉民,唐小萍,刘业异申请号：CN99231709.6申请日：19990527公开号：CN2371569Y公开日：20000329
摘要：本实用新型公开了一种具有较大行程、高导向精度、纳米级微动分辨率的调焦机构。该调焦机构采用高转速恒速电机带动大传动比行星齿轮减速器,通过联轴节传递到丝杠,再采用了小角度倾斜柔性铰链平行四边形机构将水平位移转化为垂直方向的位移,以完成调焦。这种调焦机构可广泛用于高倍显微镜、投影光刻机、激光直写机等精密仪器设备中。
申请人：中国科学院光电技术研究所
地址：610209 四川省成都市双流350信箱
国籍：CN
代理机构：中国科学院成都专利事务所
代理人：张一红
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