现代的高端光刻机,哪些国家才能制造?
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发布时间：2022-04-23 15:12
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热心网友
时间：2022-06-14 23:40
荷兰和日本。最大的光刻机制造商是荷兰ASML，这是一家总部设在荷兰埃因霍芬（Eindhoven）的全球最大的半导体设备制造商之一，向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。
产品服务
ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生产效率最高，应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，比如英特尔（Intel）、三星（Samsung）、海力士（Hynix）、台积电（TSMC）、中芯国际（SMIC）等。
ASML的产品线分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列，其中PAS系列现已停产；AT系列属于老型号，多数已经停产。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机型，分为干式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的高端机型，全部为沉浸式。
热心网友
时间：2022-06-14 23:40
这个要看你怎么去定义所谓的高端了
如果你的高端指的是EUV（极紫外光刻机），那么成品仅有荷兰的ASML一家可以生产
如果放宽到DUV光刻机（深紫外光刻机193nm）或其相当的产品，那么除了ASML，日本的佳能，尼康都可以制造
如果进一步放宽到248 nm KrF光刻机（或其相当的技术水平），那么除了荷兰，日本厂商，*的上海微电子，的科毅科技（采用电子束直写技术），德国的SUSS微电子等大量厂商都可以提供。
再往i-line，g-line光刻机的话，那厂商根本数不完了，几十家都有的
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时间：2022-06-14 23:41
目前世界上最大的光刻机制造商是荷兰ASML；1984年ASML从飞利浦出来，专门致力于研发光刻技术，得益于近乎完美的德国机械工艺以及世界顶级光学厂商德国蔡司镜头，再加上美国提供的光源。
热心网友
时间：2022-06-14 23:41
除了荷兰，日本、中国也可以制造光刻机，日本的代表企业是尼康和佳能，中国的代表企业是上海微电子（SMEE）。
热心网友
时间：2022-06-14 23:42
目前我所知道的就有日本和荷兰能造高端光刻机，高端光刻机是现代最精密的仪器，堪称现代光学工业之花，可想而知是非常难制造出来的！别的国家只能引进技术，没有吃透这个技术，所以我们不要小看荷兰和日本！
